工業ガスは、エネルギーとしてのみならず、熱処理や溶断・溶接、酸化防止用の封入など、実に多種多様な用途で産業を支えています。
私たちは高品質なガスとそのエンジニアリングで皆様をサポートします。

工業ガス- 半導体用特殊ガス

半導体用特殊ガス
SiH4  モノシラン

製品規格

純度(%) >99.999
O2(ppm) <1.0
N2
<2.0
CO
<2.0
C02
<2.0
CH4
<1.0
H2O <2.0

 

半導体用特殊ガス
PH3  ホスフィン

製品規格

純度(%) >99.995
O2(ppm) <0.5
N2
<1.0
CO
<0.5
C02
<0.5
CH4
<0.5
H2O <1.0

 

半導体用特殊ガス
B2H6  ジボラン

製品規格

純度(%) >99.995
N2(ppm)
<5.0
CO
<5.0
C02
<5.0
CH4
<10

 

 

シリンダーキャビネット

特殊材料ガスを少量多種類使用のユーザー、特に大学や研究機関で、使用をされている方々のために開発された小型で安全性に優れ、かつ安価なシリンダーキャビネットです。

排ガス処理装置

半導体の製造に使用されるガスの多くは、可燃性、自燃性、腐食性、毒性などの性質を持った物が多く、これらのガスを確実に処理できる除害剤を使った除害装置を取り扱っております。

半導体製造装置用圧力調整器
S-TORR3 30シリーズ低圧標準機種

物性の異なる半導体用材料ガスを制御するために生まれたTORR圧力調整器は豊富なラインアップを揃え、確実な圧力コントロールを約束します。

半導体製造装置用圧力調整器
S-TORR3 50シリーズ低圧中流量用機種

物性の異なる半導体用材料ガスを制御するために生まれたTORR圧力調整器は豊富なラインアップを揃え、確実な圧力コントロールを約束します。

半導体製造装置用圧力調整器
S-TORR3 A10シリーズ
低圧標準機種(絶対圧圧力調整器)

物性の異なる半導体用材料ガスを制御するために生まれたTORR圧力調整器は豊富なラインアップを揃え、確実な圧力コントロールを約束します。